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片面ポリッシングマシーン
SW-08P- ・リジット式上軸機構で
円周上の平坦度を安定確保
- ・リジット式上軸機構で
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片面高速ラッピングマシーン
SW-08- ・新機構の採用で、円周上平坦度を維持継続
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片面高速ラッピングマシーン
STC-610- ・LEDサファイア、SiCウエハ用に新開発した2軸の高速ラッピングマシーン
- ・自動で定盤の溝切り、フェーシングが可能
