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片面ポリッシングマシーン
SW-08P
- ・リジット式上軸機構で円周上の平坦度を安定確保
片面ポリッシングマシーンSW-08Pは、ポリッシングプレートが最高150rpm回転し、上軸の揺動機構、駆動機構の他、エアーシリンダ加圧機構、ワークをバキューム吸着できるバキュームチャック機構、ポリッシングプレートの回転数自動切換え及び上軸加圧の自動切換、また冷却機構等想定される様々な加工条件に対応できる、各種機構を装備した高性能装置です。
■ 特長
- 上軸受け調整機構
- ワークの支持は一般的なフローティング式ではなく、ワークを保持するチャックが 自由度を持たないリジット方式を採用しています。
バキュームチャックを装着した上軸受けがプレートとチャック面が平行になる様に調整できる機構です。ワークチャックの自由度がないため、円周上平坦度管理が非常に簡単になりました。
- 上軸の揺動機構・駆動機構
- 往復運動と強制駆動回転は、加工面に方向性をなくし高精度の研磨が可能です。また強制駆動回転はラップ定盤の自由なポイントに、上軸を設定できます。
- エアーシリンダー加圧機構と逆圧機構
- ダブルエアーシリンダー式加圧機構なので、ワークの種類や大きさが変わっても、簡単に可変できます。又、逆圧機構により、微圧力の研磨も可能です。
- バキュームチャック機構
- キャリアプレートを使用しなくても、バキュームチャックで直接ワークを固定することができます。また、ポーラスチャックも装着できます。
- 回転変速装置
- インバータ式変速装置を採用することにより、滑らかに任意の回転数まで変速することが可能になりました。
- 回転変速プログラム
- プレートとワークチャックの回転数をステップごとに任意に設定でき、その切替えも自動で行われます。またこの時加圧も自動で可変できます。
- 冷却装置
- ポリッシング時の熱の発生は精度に影響します。チラー付き冷却タンクの冷却水をプレート下部に噴射して、効率よく冷却します。
- スラリー流量監視システム（オプション）
- 加工中のポリッシングスラリーの流量を常に監視し、スラリー供給タンクのスラリーが空になってしまった時、加工を速やかに停止させます。
- タッチパネル
- 研磨加工レシピを最大30種類入力することができます。
