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ウェハデマウンター/SWD-6000

ウェハデマウンター
SWD-6000

  • ダメージなくウェハをセラミック支持基板から剥離する装置です

バキュームチャックにてウェハを吸着後、フラットな状態で剥離することができるので、急激な反りによるウェハのダメージを防ぎます。

SWD-6000イメージ

■ 特長

当社独自の機構（特許出願中）により、薄いウェハにストレスをかけません。

SWD-6000イメージ

当社のウェハリリースメカニズムは、剥離後のウェハ反りによるダメージを最小限に抑えることができます。

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