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ウェハマウンター
KBM-100
ボンディングマシン KBM-100シリーズは2連式の独立型エアーシリンダを装備したエアープレスです。ボンディングを行う際、キャリアプレートに対しワークを加圧しながら冷却固定するので、素早く均一な厚さにボンディングすることが可能です。また、事故を防止するために安全面にも十分に配慮した装置です
■ 特長
- 独立型エアーシリンダー搭載
- 装置には2台のエアーシリンダーが配置され、各々が独立しています。 エアーシリンダーには最大φ6インチまで対応と最大φ4インチまで対応の2種類があり、自由な組み合わせも可能です。
- 素早く均一な厚さのボンディングを可能にする冷却機構
- キャリアプレートに対しワークを加圧しながら冷却固定するので、素早く・均一な厚さにボンディングすることができます。冷却タンクはボンディング台の下部に収納されます。
- 万全の安全対策
- 2箇所の下降スイッチを両手で一定時間押し続けないとインターロックが作動して、加圧プレートが上昇する機構で、挟み込みによる事故を防止します。またオプションで、セーフティーカーテンも取り付けられます。
- ボンディング台
- 装置本体はボンディング台に固定されます。上部はテーブルになっていますので、作業台として使用できます。
