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横型平面研削機
SGM-7000
横型平面研削装置SGM-7000は脆性素材基盤等を薄くグライディングするのに最適な装置です。ワークに対してダメージが少なく優しい研削が可能で、研磨領域の厚みまで踏み込んだ研磨加工が出来ます。それにより従来、長時間かかっていた研磨加工も短時間ですみ、歩留まりが飛躍的に向上します。
■ 特長
- 新揺動機構
- ワークを保持するバキュームチャックを装着した軸受けが定盤とチャック面が平行になる様に調整できる機構です。定盤平坦度を狂わすワークの自由度が無いため、円周上平坦度管理が非常に簡単になりました。
- 間欠送りシステム
- 送りとインターバルを繰り返しながら研削を行います。インターバルの間、切り粉の排除やダイヤ砥石の冷却、研削ストレスの軽減等の作用がありワークに対して優しい研削ができます。
- オーバーロード感知システム
- 一定以上の負荷がかかると送りがバックし、砥石とワークのストレスを一旦開放した後、再度送りがスタートします。このシステムでワークに強いストレスがかかるのを防ぎ、ダメージの少ない研削が可能になりました。
- ゼロタッチシステム
- 砥石とワークが接触した位置を装置が感知し、自動で原点位置を設定することができます。
